SMAL系列平面式XY双驱气浮平台 地心科技

产品说明：

Ⅰ：标准产品SMAL

      SMAL系列运动平台是地心科技持续在高级材料、特有加工技术、精密结构分析和设计上不断投入的结果，我们研发的目标是为今天要求严格的半导体工业设备提供高精度和高产出率的运动系统，同时是我们有着在迎接未来的挑战中保持领先的技术能力SMAL气浮平台能满足在电子及半导体加工、检测设备的具有挑战性的要求。

      传统的平面式XY双驱气浮平台都采用双气浮导向导轨的形式，双气浮导轨结构在安装调试时对导轨本身的精度以及导轨之间的平行度要求极高，并且该结构形式对环境恒温要求也很高；SMAL系列运动平台为了解决这些问题采用了开放式T型气浮结构设计，T型结构具有机械安装调试简单，对环境的恒温要求低，便于集成到客户产品当中。

      凭借研发团队在材料、设计、分析方面的专业技术对平台整体进行不断设计优化，非接触的气浮轴承的应用与磁预载的结构，实现无摩擦的平滑运动，使SST系统运动平台达到微米~纳米的定位精度及重复定位精度。 

Ⅱ：产品技术

◆平面XY运动气浮平台

◆花岗岩基座、紧凑式整体

◆集成式压力、真空气浮元件

◆SMAL气浮平台主要应用于需要高精度、高重复性和高产出率的系统。

Ⅲ：关键性指标

◆行程：400mm& 400mm

◆ 加速度：1G-X轴、2G-Y轴

◆ 速度：500mm/s

◆重复性：±40nm

◆精度：0.5um（直线编码器）

◆小于0.1%的速度纹波

◆Settling time（±100nm）：<100ms

◆自然频率：100Hz

Ⅳ：应用领域

◆科研                        

◆激光加工制造                        

◆半导体制造、检测

◆工业制造

◆电子零件生产、组装

◆平面显示器制造、检验